THÈSE DE STÉPHANIE PALMIER - CEA CESTA

POLLUTION PARTICULAIRE DE SURFACE D´UNE CHAÎNE LASER DE PUISSANCE

Dans le contexte du projet Laser MégaJoule (LMJ), lŽobjectif de cette thèse était lŽétude de la pollution particulaire déposée sur un composant optique dŽune chaîne laser de puissance. LŽintérêt de ce travail était de déterminer lŽinfluence de la pollution dans le processus dŽendommagement des composants optiques sous un rayonnement laser intense. Pour cela, nous avons mis en oeuvre deux types dŽapproches : lŽune consacrée à lŽétude in situ des particules recueillies dans le prototype du LMJ, la Ligne dŽIntégration Laser (LIL) et lŽautre reposant sur des particules « modèles ». Ces deux approches menées parallèlement ont permis de caractériser la pollution particulaire et dŽanalyser son influence sur lŽétat de surface des composants optiques soumis à un flux laser intense. Nous avons également étudié le phénomène dŽenlèvement des particules de surfaces représentatives des composants optiques transmissif de la LIL sous le rayonnement laser. Bien que les fluences du faisceau de la LIL soient élevées, cet enlèvement de particules est souvent incomplet. Nous avons donc proposé un protocole pour éliminer de façon nette la particule sans fragiliser le substrat.

THÈSE DE SÉVERINE BLANC - CEA LETI

MISES EN OEUVRE DE PROCÉDÉS DE NETTOYAGES EN MILIEU AQUEUX DE SURFACES RUGUEUSES D´ALUMINE ET ÉTUDE DE L´ADHÉSION DE PARTICULES SUR CES SURFACES

Le nettoyage ultrapropre des pièces de réacteur devient nécessaire pour lŽoptimisation des rendements sur plaquettes de silicium dans lŽindustrie de la microélectronique. Ce travail propose dŽaméliorer le nettoyage des pièces en axant la recherche sur les forces dŽadhésion entre deux substrats dŽalumine et leurs particules résiduelles en milieu aqueux. Après la caractérisation physico-chimique et la mesure de rugosité de nos systèmes, le calcul de la théorie DLVO est abordé. Une étude statistique de lŽadhésion est développée en comparant les mesures de forces par microscopie à force atomique avec une particule dŽalumine collée sur le levier et la théorie DLVO appliquée sur les surfaces rugueuses.
Nous avons investigué des méthodes de nettoyages pouvant vaincre cette adhésion, et en particulier lŽapport dŽénergie dans le milieu par ondes ultrasonores. Dans ce sens, une méthode de mesure de la densité particulaire surfacique a été développée en fonction des paramètres intrinsèques aux ultrasons sur chaque substrat. Les moyens dŽamélioration, toujours à lŽaide dŽultrasons, ont été les nettoyages par lŽaugmentation de la température, la variation du pH des solutions et lŽajout de tensioactifs.